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    [澳门银河娱乐官网]有机金属热蒸发镀膜机 FS-200

    设备参数

    腔体

    方形:200*200*350,前开门,门上有上下二个观察窗,材质:SUS304

    真空系统

    分子泵+机械泵,配旁抽阀. 极限真空可到8.0*10-5Pa.

    真空计显示范围(1.0*10E5Pa-1.0*10E-5Pa),

    机架

    30进口铝型材组装,轻便,美观

    基片盘

    手动控制,可任意角度定位.

    可装1-420*20基片

    配四块掩膜板(掩膜图形0-8),

    挡板

    手动控制,四个基片位置中同时只蒸镀一个.

    蒸发源

    金属蒸发源:二组,共用一个阴极

    有机蒸发源:八组

    电源

    金属蒸发电源:功率1KW,电压8V,电流160A,数量:一套

    有机蒸发电源:功率:300W,二套,切换使用.

    膜厚仪

    国产膜厚仪:配二个水冷探头



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